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    高纯水标准

    文章出处:水处理设备作者:北京水处理设备公司发表时间:2012-11-18 22:12:51【

      中华人民共和国机械行业标准JB/T 7621--94。

      电力半导体器件工艺用高纯水。

      机械工业部:1994-12-09批准 1995—O6—O1实施。

      1主题内容与通用范围

      本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。

      本标准适用于去离子处理后的高纯水。

      2引用标准

      GB11446电子级水及其检测方法。

      3术语

      3.1 电导率electrical conductivityctricalconduc2ivity

      在规定温度下,1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。水的理论电导率为0.0548μs/cm(25℃时)。

      3.2电阻率resistivity

      电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。

      3.3颗粒性物质granular sulbstance

      除气体以外,以非液态形式分散在水中,并形成非均匀相混合物的物质。

      3.4总有机碳(TOC)total organic carbon

      水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被—般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化的有机物。

      3.5总固体total solid

      水样蒸发、烘干后残留的固总量。

      3. 6全硅total silicon

      水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即叫为胶体硅。

      3.7高纯水high-pure water, ultrapure water

      电阻率在5MΩ·cm以上,各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净水。

      3.8原水raw watcr

      纯化处理之前的水。常用的原水将自来水、井水、河水等。

      3.9终端terminal

      高纯水生产流程中经过各道冲化工艺后,水的出口使用地点??煞直鸪莆扑斩撕陀盟?。

      3.10微量micro-amount试样量在1mg左右

      3.11 痕量trace amount试样量在1μg左右

      3.12百万分之一(ppm) part per million

      重量比的量,相当于每百万重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分析中,一殷也认为相当每升水样含杂质的毫克数(mg/L)。

      3.13十亿分之一(ppb)part per billion

      重量比的单位,相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质,在水质分折中,一般认为相当于短升水样含杂质的微克数(μg/L)。

      4高纯水的级别

      4.1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水,分别用符号EH和pH标志

      4. 2电子级高纯水

      4.2.1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点:

      a、具有精细图形结构。

      b、对器件表面有特殊要求。

      c、工艺对水质有特定的严格要求。

      4.2.2电子级高纯水分为两个级别:特级和I级。它们的标志分别是:

      特级电子级高纯水:EH—T。

      一级电子级高纯水:EH—1。

      4.3普通高纯水

      4.3.1普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中

      4.3.2普双高纯水分为三个级别:Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是:

      I级普通高纯水:pH—Ⅰ。

      x级普通高纯水:PH—Ⅱ。

      m级普通高纯水:pH—Ⅲ。

      4. 4电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水

      5技术要求

      5.1电子级高纯水

      5.1.1电子级高纯水应考核四项内容:

      a、水中自由离子浓度(主要影响电阻率)。

      b、水中悬浮微粒的数量和大小。

      c、水中有机物总量。

      d、水中细菌微生物状况。

      5. 1. 2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出

      表l

      指标 级别

      EH— T EH-I。

      电阻率,MΩ·cm(25℃) 18 (90%时间)。

      最小17 16~18 (90%时间)。

      最小15。

      大于1μm微粒数.个/mL <1 1。

      大于0.5um微被数。

      (最大值),个/mL 100 150。

      细菌个数,个/mL <1 1。

      总有机碳含量(最大值),μg/L 50 100。

      全硅(最大值),μg/L 2 10。

      氯含量(最大值),μg/L 0.5 2。

      钾含量(最大值),μg/L 0.2 1。

      钠含量(显大值)μg/L 0.2 1。

      钙含量(最大值),μg/L 0.5 1。

      铝含量(最大值),μg/L 0.5 1。

      铜含量(最大值),μg/L 0.1 1。

      总可溶性固体含量(最大值),μg/L 3 10。

      5.2普通高纯水

      5.2.1普通高纯水主要考核其电阻率

      5.2.2普通高纯水的技术指标由表2给出

      表2

      指标 级标

      PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ。

      电阻率(25℃),MΩ,cm 12-15 8~<12 5~<8。

      大于lμm的微粒数,个/mL <50。

      总有机碳含量,μg/L <500。

      全硅,μg/L <100。

      6测试方法和检验规则

      6.1电阻率测试方法

      6.1.1用电导率仪测量高纯水电阻率时:

      a、电导池常数选川0.1—0.01cm-1。

      b、被测高纯水应处于密封流动状态,避免任何气体混入,流速不低于0.3m/s。

      6.1.2在t℃时测得的电阻率值ρt,用下式换算成25℃的电阻率ρ25

      ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}。

      式中:ρ25——25℃时的电阻率MΩ.CM。

      ρt——t℃时的电阻率MΩ.CM。

      Gt——t℃时理论纯水的电导率μS/CM,其值见附录A。

      αt——t℃时修正系数,其值见附录A。

      0.05482——t℃时理论纯水的电导率μS/CM。

      6.2其他技术指标测量方法

      执行GB11446.5~11446.11中有关规定。

      6.3检验规则

      6.3.1各个级别高纯水的电阻率为经常必测项目

      6.3.2对电子级高纯水,用水单位还应根据生产要求制定对微粒数、痕量金属、细菌、有机物及二氧化硅等各项技术指标的检验规则

      6.3.3制水工艺条件改变时,应及时对表1或表2中各项技术指标全面检验

      6.3.4所有测量均应在制水终端和用水点两处测量。制水终端水的质量称为制水水质,用水点水的质量称为用水水质。对普通高纯水,用水水质和制水水质应在同一级别上。对电子级高纯,主要检验用水水质,但应给出制水水质作参考。制水水质还用于检验制水设备和技术。

      6.4检验标志

      在高纯水制水终端和用水点按要求进行检验后,若水质合格,应附标有下列内容的检验合格证:

      a、高纯水的级别标志。

      b、要求检测的技术指标及测量结果。

      c、制水单位。

      d、连续供水开始日期(普通高纯水可无此项)。

      e、检验员签章及检验日期。

      7取样、存贮和运输

      7. 1. 高纯水的取样

      7.1.1盛水容器必须使用塑料或硬质玻璃容器。用于测定硅或分析痕量成分时。必须使用聚乙烯等塑料容器。

      7.1.2取样前,盛水容船应预先用洗涤剂清洗干净,再用盐酸(1十1)或10%硝酸溶液浸泡48H(分析阴离子用的容器除外),然后用高纯水冲洗干净,再用高纯水浸泡不少于6h。临取样时,用待测高纯水冲洗容器小少于10次、方可取样。

      7.1.3采集水样时,应先把管道中的积水放尽,并冲放5—10min,在流动状态取样。以保证水样有充分的代表性。

      7.1.4取样的体积约为容器体积的0.6—0.8,不得太满。取样后。应迅速把容器盖严。

      7.1. 5细菌分析采样容器必须经过高温消毒处理。

      7.2 高纯水的贮存与运输

      7.2.1分析高纯水中的阳、阴离子时,采集的水样可存放72H。细菌检验时,水样存放时间不得大于4H。

      7.2.2高纯水在贮存和运输时,应检查容器益是否密封严密。装有水样的容器不能在太阳下曝晒或放在高温处。冬天要注意防冻。

      7. 2.3高纯水在贮存和运输过程中;应定时记录时间、温度和气候条件等。

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